中国等离子体控制技术（PCT）行业报告（38页）

行业报告下载 2020年09月04日 09:06 管理员

中国等离子体控制技术行业产业链上游为零部件供应商，包括传感器、可编程控制器、射频电源、真空电容器等供应商。（1）传感器、可编程控制器传感器、可编程控制器是等离子体控制技术的核心配件，用于获取等离子体电流、位置和形状大小信息，提高等离子体控制技术执行控制的水平。①在传感器领域，目前中国传感器企业数量稀少，知名企业代表包括歌尔股份有限公司、美新半导体有限公司等，其制造工艺、技术以及经验与全球头部企业存在差距；②在可编程控制器领域，中国可编程控制器企业多以组装和代加工业务为主，缺乏核心制造技术，致使中国可编程控制器设备不具备市场竞争力。现阶段，可编程控制器市场主要被德国西门子股份有限公司、博世集团，法国施耐德电气有限公司，美国通用电气公司、日本株式会社日立制造所、松下电气产业株式会社等厂商所占据，中国对国外厂商的可编程控制器设备依赖程度高。

射频电源、真空电容器也是等离子体控制技术应用设备的核心零部件。①在射频电源领域，射频电源属于等离子体的配套电源，应用于中游射频溅镀，PECVD，反应离子蚀刻中。现阶段，中国本土等离子体控制技术应用设备使用的射频电源已达到国外同类电源技术性能（输出功率、频率、阻抗匹配网络）先进水平，但中国本土等离子体控制技术应用设备使用的射频电源在自动化程度上，与国外厂商的射频电源还存在差距。此外国外厂商等离子体设备已基本装备自动阻抗匹配网络，但中国的阻抗匹配网络仍需人工手动匹配。可见，中国在等离子体控制技术设备中应用的射频电源自动化水平较弱；②在真空电容器领域，真空电容器是应用于中游等离子体的沉积和刻蚀设备中。由于真空电容器具有高制造工艺和技术壁垒，全球真空电容器市场长期被日本、美国厂商垄断，致使中国真空电容器主要依靠进口。整体而言，中国等离子体控制技术上游供应链体系尚未成熟，中国等离子体控制设备核心零部件的生产能力较弱，对国外厂商的等离子体控制设备核心零部件依赖程度高，致使行业上游供应商溢价能力低，等离子体控制技术应用设备整体造价仍普遍高昂。