半导体产业洁净室行业深度研究报告（42页）

行业报告下载 2017年09月01日 07:07 管理员

洁净室的原理（气流组织方式）。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。洁净室控制污染源的途径主要有3 种：1、控制污染源，减少污染发生量；2、迅速排出室内已经发生的污染；3、有效阻止室外的污染侵入。第1 点和第3 点都可以通过封闭性和化学设备等解决，而核心的第2 点则需要利用流体力学的物理原理。在流体力学中，按照运动要素流速、加速度等有无时间因素可以分为稳定流与不稳定流，按照流线形状可以分为渐变流和突变流，按照有无质点交换可以分为层流和紊流。半导体产业洁净室行业深度研究报告（42页）

洁净室工程属于生产辅助型工程。洁净室工程是生产辅助性工程，是高端制造不可或缺的一部分。洁净室工程的需求来源于准备建厂的业主，比如晶圆制造商、面板生产商等，洁净室建设完成之后再交付给业主，业主使用洁净室来进行生产活动，故洁净室工程并不单独存在，而是生产厂商的辅助性工程，但同时，也是高端制造不可或缺的一部分。

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