半导体检测设备行业报告：半导体缺陷检测（23页）

行业报告下载 2020年03月09日 06:58 管理员

“半导体检测设备”中的“检测”是一个广义的感念。都称之为“检测”的设备又可以进一步具体分为：狭义的检测（主要是 Defect Inspection & review）、测量（Metrology）以及测试（Test）。除去这三种工艺制程相关的“检测”设备外，在设计验证阶段还有第三方检测公司，主要做芯片的失效分析。四种设备都会含有“检测”或者“测试”的字眼，对产业不了解的情况下可能会有所混淆。本系列报告将逐个拆解研究。 “检”：狭义检测（主要是 Defect Inspection）本篇重点。 “量”：测量（Metrology），也叫量测。测量=量测。 “试”：测试（test）。下表综述了半导体行业广义检测设备的分布情况。用不同颜色标注了狭义检测、量测和测试的工艺应用场合。我们未来的系列报告中将会一一展开。

在半导体的实际制程中，大家一般是根据晶圆生产、晶圆制造、晶圆封测这样的环节来研究，我们之所以把设备按照功能或者目的来分，是因为设备厂家是按照目的来深耕各自领域的。另外，检测设备在其他一些行业中或在不同的语境下还存在着其他的分类方法：比如尺寸检测，性能检测，逻辑检测，外观检测等等。我们也将在以后的系列报告中予以拆解。本篇作为系列报告第一篇，将着重梳理半导体缺陷检测设备市场格局、重点企业等。

目前从整体上看，国内半导体设备企业技术与国外顶级公司差距较大、且在多处核心环节上短期突破的难度较大，但我国半导体产业发展快速，国家大基金也在不断投入相关企业进行布局，进口替代势在必行。国内企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局，在相当细分领域已取得较大进展，具体到检测设备环节，国内重点布局企业有赛腾股份、上海睿励/中微公司、中科飞测等。 2.1.赛腾股份——收购日企 Optima 切入晶圆缺陷检测设备 2019 年 10 月赛腾股份以现金方式购买 Kemet Japan 株式会社持有的日本 Optima 株式会社 67.53%股权，股权收购价款 270,105.99 万日元（约合人民币 16395 万元），并拟对 Optima 株式会社进行增资,增资金额 120,000 万日元（约合人民币 7284 万元）,总计投资金额 390,105.99 万日元（折合人民币约 23679 万元），在增资、转让（转让 1%股份给亚洲日升，后者为公司提供交易相关咨询服务并协助公司完成谈判、交割等工作）后公司将持有 Optima 约 74.25%股权。 Optima 株式会社主要从事半导体晶圆检查设备和曝光设备的开发、制造、销售以及服务业务，与公司同属于自动化设备研发制造行业，能够与公司实现产业协同，拓宽公司智能制造产品链，并将公司产品线向高端半导体检测设备领域进一步延伸，提高公司技术含量和客户储备。