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2024-03-07 28 智能制造行业报告
MOCVD处于实现国产化关键期。国际重要供应商有美国Veeco、德国Aixtron;日本厂商研发生产的MOCVD设备不出口;国内新崛起的厂商有中微半导体、中晟光电,产出的MOCVD已经在国内各家LED芯片厂商规模应用,尤其是中微半导体2017年在国内市场份额占到一半以上。
MO源已经全部国产化。MO是金属有机化合物,包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟等。重要供应商有Dow(美)、SAFC Hitech(美)、Akzo Nobel(荷)和国内的南大光电、亚格盛、江西镓铟光电等众多供应商。国内以南大光电为首的MO源供应商掌握了核心生产技术,产能增加迅速,部分产品价格下降较快,当前处于底部附近,一定程度上供给过剩。
衬底国产化率达到80%。半导体芯片的生产都是在衬底上面做外延工艺,LED生产所需要的衬底材料包括蓝宝石、硅、砷化镓、碳化硅、氮化镓等。
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