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石英坩埚行业报告:光伏石英坩埚、半导体石英坩埚(26页)

行业报告下载 2024年04月18日 15:21 管理员 编辑

石英坩埚是光伏及半导体领域高纯石英砂的主要制品,主要应用于支持高温条件下连续拉晶,是用来装放 多晶硅原料的消耗型石英器件。 石英坩埚具有洁净、同质、耐高温等性能。从物理热学性能上看,石英坩埚的形变点约为 1100℃,软化点 约为 1730℃,其最高连续使用温度约为 1100℃,短时间内可达到 1450℃,其高纯和高耐温耐久性为硅 棒单晶拉制以及单晶品质提供保障,是单晶拉制系统的关键辅料之一。 石英坩埚可主要分为方形和圆形两类,其中方形石英坩埚用于多晶硅锭铸造环节,圆形石英坩埚则用在单 晶硅棒拉制环节。在单晶硅片生产流程中,石英坩埚是光伏单晶炉的关键部件。基于单晶硅片纯度的要求,石英坩埚一次至 几次加热拉晶完成后即报废,需要购置新的石英坩埚用于下次拉晶,因而在单晶硅产业链中具备较强的消 耗品属性特征。石英坩埚为半透明状,可分为外层(不透明层)、中内层(真空透明层)。外层(不透明层)是高密度区 域,内部含有大量气泡,被称为气泡复合层,其受热均匀,保温效果好;中内层是 3-5mm 的透明层,均 匀致密、表面光滑,可以增强坩埚的强度(抗形变),降低内表面的温度(防失透),被称为气泡空乏层。

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