电镀金刚线行业深度报告（25页）

行业报告下载 2018年03月06日 07:28 管理员

硅片切割技术。硅材料是一种脆性非常高的材料，切割的时候很容易发生断裂，加工过程中产生缺陷的原因非常复杂，比金属材料更难加工，硅材料在实际的多线切割过程中容易产生微裂纹，微裂纹的产生将减少的硅材料的强度，随着切割过程中的机械振动，很容易在切割的部位发生断裂破坏，严重影响到硅片最终的质量。

硅材料的切割过程不单纯是简单的切削过程，其中包括非常复杂的物理变化过程，比如硅晶粒的剥落过程、塑性变形的过程、硅晶粒碎裂等相关过程。有研究表明，在硅材料的切割过程中，主要有两种去除方式，一种是脆性断裂切除，一种是塑性变形切除。脆性断裂切除在硅材料的切割顶端会产生裂纹，产生的裂纹会使硅片表面损伤增加；而塑性变形切除是将硅棒在塑性区域内切除，同时在被切割的过程中，硅材料形成塑性切割，这也就产生了切削。游离磨料多线切割以两种方式除去硅材料：去除脆性断裂和塑性流动的去除。脆性断裂前端以颗粒形式裂纹移除，晶片表面裂纹会受到严重的伤害;除去塑性流动形成在硅棒切塑性区域，塑性流动的形成过程中被切割，由此产生切割。电镀金刚线行业深度报告（25页）

传统的硅片切割方式——砂浆切割。从20 世纪90 年代中期开始，由于线锯加工的切缝窄、厚度均匀、翘曲度较低，而被广泛应用于单晶硅等贵重硬脆材料的加工。线锯主要分为游离磨料和固结磨料两类。游离磨料线切割加工在工业切割领域表现稳定，在光伏产业的大尺寸硅片切割领域广泛应用，但其存在加工效率较低且不利于加工更硬的材料、磨浆污染环境严重等问题，因而严重制约了该技术的进一步发展。

新型的硅片切割方式——金刚线切割。由于碳化硅为磨料的砂浆切割具有较多的缺点，其逐渐被电镀磨料线锯切割技术所替代，而其磨料一般采用金刚石。电镀金刚石线锯是一种在镀液中添加一定的金刚石磨料，当镀液中的金属离子在阴极还原成金属，沉积在线锯基体上时，金刚石微粒被包覆进入镀层而制成的线性锯切工具。其比原来的游离磨粒线锯具有更高的耐磨性，同时能够承受较大的切削力和较长的切削时间。

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