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2026-01-23 4 电子行业报告
光刻胶(Photoresist),又称光阻或光致抗蚀剂,是一类对紫外 光(UV)、极紫外光(EUV)、电子束等高能辐射敏感的有机功能 材料,广泛应用于印刷电路板(PCB)、显示面板和半导体芯片等领 域的光刻工艺中。在受到特定波长的高能光照后,光刻胶的化学结构 发生变化,导致其在显影液中的溶解度发生显著改变。通过这一特性, 被曝光区域可选择性地被溶解去除或保留,从而将掩模版上的图形精 确转移到基底表面,并与后续的刻蚀工艺协同,实现微纳尺度下的精 准图案化加工。

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