中国半导体材料产业投资手册报告（146页）

行业报告下载 2018年06月08日 06:27 管理员

从功能上讲，硅片在IC 制造和太阳能电池制造领域均作为“基底”材料，二者的主要差异在于：1、为满足相应的电学

特性，半导体级硅晶圆都是单晶硅，而太阳能电池制造用的硅晶圆则是单晶硅晶圆与多晶硅皆有；2、半导体级硅片的纯度要求极高，通

常为99.9999999%（9N）以上，光伏级对于硅片纯度的要求则相对较低，一般介于99.99%—99.9999%（4N-6N）之间。3、此外，半导体

级硅片对表面的平整度、光滑度及洁净程度也比光伏级硅片要高，因此制备半导体级硅片需要经过更加细致的磨片倒角、刻蚀除杂、抛光

及清洗环节。因此整体上讲，半导体级硅片的制备门槛远高于光伏级硅片。

硅片的生产过程非常复杂，从硅石到硅片需要经过提纯、熔铸、拉棒、切割、抛光、清洗等多道工序。一般而言，硅片要经过硅石的

三步提纯制备出纯度为99.9999999%的半导体级硅，再通过熔铸、拉棒等工艺流程生产成适当直径的硅锭，最后被切割、抛光、清洗并通

过质检环节后，可完成的用于下游生产的薄硅片的制备。

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