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2024-03-05 24 电子行业报告
半导体硅片是半导体器件的主要载体。硅片是半导体产业的上游原料,下游产业通过对硅片 进行光刻、刻蚀、离子注入等加工,可将硅片制成各类半导体器件用于后续加工,如集成电 路、二极管、功率器件等。硅片作为半导体材料绝缘性好,制成的半导体器件稳定性高,因 而已被半导体产业所广泛使用。光伏行业对硅片纯度要求低,仅需达到 99.9999%,而用于半导体器件加工的硅片对纯度有 着极高要求,需达到 99.999999999%。此外,半导体硅片还对硅片的平整度、光滑度有较高 要求。正因如此,半导体硅片的提纯和加工技术门槛极高,全球的半导体硅片市场形成高度 垄断。据 Siltronic 统计,2020 年全球前五大硅片制造商为日本信越、SUMCO、环球晶圆、 SK Siltron 和世创,他们共同占据着半导体硅片市场 87%的份额。我国硅片产业起步较晚,技术积累不及海外。目前国内的半导体硅片企业主要生产 6 英寸 及以下的半导体硅片,少数企业具有 8 英寸和 12 英寸半导体硅片的生产能力,在 2017 年 以前,12 英寸半导体硅片几乎全部依赖进口。
2018 年,沪硅产业集团子公司上海新昇作 为中国大陆首家实现 12 英寸硅片规模化销售的企业,打破了 12 英寸半导体硅片国产化率 几乎长期为 0%的局面。近年来,国内厂商加快了半导体硅片的研发投入和建设,已经多 家厂商实现了从 8 英寸到 12 英寸半导体硅片的突破,目前半导体硅片的国产替代空间巨 大,未来国内厂商有望充分受益半导体硅片的国产化。 2、从尺寸和应用场景分类硅片 随着半导体行业的发展,半导体器件的终端需求量不断提升。作为半导体行业的核心原材料, 硅片的尺寸和技术生产水平也在持续进步,产品种类也丰富起来。对于半导体硅片,目前可 以依照尺寸、应用场景等做进一步分类。 (1)按硅片尺寸分类: 硅片尺寸遵循摩尔定律不断增大。1965 年,2 英寸(50mm)直径的硅片首次量产,随后 30 年里,4 英寸(100mm),6 英寸(150mm),8 英寸(200mm)硅片相继问世,再到 2000 年 12 英寸(300mm)硅片实现量产。硅片直径的提升使得硅片面积平方级增长,进而使得 单块晶圆能产出的芯片数量也翻倍增长。硅片直径越大,芯片的平均生产成本越低,进而提 供更经济的规模效益。但与此同时,生产更大直径的硅片,其所需要的生产工艺改进成本、 设备性能提升,也将在投产初期给厂商带来更高的固定成本投入。
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