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2026-05-08 37 电子行业报告
设备行业增速明显,设备自主化重要性凸显。半导体设备作为整体产业的支柱,受 益于全球半导体行业的高速发展,全球对半导体制造愈发重视,对应半导体设备需 求快速增长。据 SEMI 统计,2014 年全球半导体设备销售规模仅为 375 亿美元,而 2021 年在全球各地晶圆厂扩产的带动下,半导体制造设备销售额激增,相比 2020 年的 712 亿美元增长了 44%,达到 1026 亿美元的历史新高;预计 2022 年全球半导 体设备市场规模将扩大到 1140 亿美元。中国作为全球半导体产业的重要参与者,半导体设备增速显著高于全球。在全球范 围来看,半导体产业主要集中在美国、日本、韩国、中国台湾以及中国大陆地区。 其中,中国大陆地区经过多年快速发展,已经成为全球最重要的半导体产出和消费 地区,2021 年中国半导体销售约占全球 35%。在下游行业快速发展的推动下,半导 体设备保持快速增长。根据 SEMI 统计,2020 年中国大陆地区半导体设备销售规模 达 187.2 亿美元,同比增长 39%;2021 年销售额增长 58%,达到 296 亿美元,占全 球半导体设备市场规模的 28.86%,第二次成为全球半导体设备的最大市场。
半导体设备零部件作为半导体设备的基础,受重视程度日益提升。目前,全球范围 内地缘政治、产能结构性紧缺等因素极大地影响了半导体产业的发展。根据 Gartner 的数据,全球芯片制造商 2022 年的资本支出预计合计将达到 1460 亿美元,比疫情 之前的水平高出约 50%。而半导体设备零部件作为各种半导体设备的组成部分,供 应链安全越来越成为各大设备厂商所重视的关键。从结构上看,设备零部件可以简 单分为七大类,在气体输送、机械运动、电气信号控制、晶圆传输、维持设备整体 结构稳定等诸多方面起到重要作用,实现高精度制造与高产率产出,为设备的稳定 运行和安全可靠提供保障。设备零部件市场规模约占全球半导体设备市场的 50%。从半导体设备的毛利率可以 推出设备零部件的市场规模,一般来说,设备成本中 90%以上为零部件产品,而当 前半导体设备公司毛利率一般维持在 45%~50%左右,从而可以推出设备零部件市 场规模约为半导体设备市场规模的一半,对应 2021 年全球半导体设备零部件市场 规模约为 461 亿美元。图形刻画,光刻机必不可少。光刻是将设计好的电路图从掩膜版转印到晶圆表面的 光刻胶上,通过曝光、显影将目标图形印刻到特定材料上的技术,可以简单理解为 画图过程,是晶圆制造中最重要的技术。光刻工艺包括三个核心流程:涂胶、对准 和曝光以及光刻胶显影,整个过程涉及光刻机,涂胶显影机、量测设备以及清洗设 备等多种核心设备,其中价值量最大且技术壁垒最高的部分就是光刻机。

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