光伏辅材产业链报告：HJT及薄膜太阳能电池，光伏靶材（28页）

从 ITO 靶材制备方法来看，制备方法多样，冷等静压优势突出。ITO 靶材的制备方法主要有 4 种，分别为热压法、热等静压法、常温烧结法、 冷等静压法。冷等静压法制备 ITO 靶材优点：1）冷等静压法压力较大， 工件受力相对更加均匀，尤其适用于压制大尺寸粉末制品，符合 ITO 靶材 大尺寸的发展趋势；2）产品的密度相对更高，更加地均匀；3）压粉不需 要添加任何润滑剂；4）生产成本低，适合大规模生产。从冷等静压法主要制备流程看：1）制备粉末，选取氧化铟与二氧化 锡（纯度 99. 99%）进 行 乳 化 砂 磨 。其 中 加 入 2%—4% 的 聚 乙 烯 醇 （PVA）和 30% 的纯水进行砂磨。然后进行喷雾干燥，调节喷雾干燥塔参 数，喷雾制备不同松装密度的 ITO 粉 末 。 最 后 将 ITO 粉 末进行筛网筛 分，获得合格的 ITO 粉末；2）制备素胚，将 ITO 粉末装入橡胶模具中振 实，密封投料口，进行冷等静压，得到靶材素坯；3）结烧，将素坯放置 于常压烧结炉中，保温温度为 1450—1600 ℃，采用多个阶段保温烧结， 烧结过程中通入氧气。AZO 靶材有望替代 ITO 靶材。从整体上看，ITO 在光电综合性能上 高于 AZO 靶材，但 AZO 靶材的优势或将为靶材带来降本空间。在《AZO 和 ITO 薄膜性能对比及其在太阳电池中的应用》的相关实验中利用 AZO 靶材和 ITO 靶材制备了 3 组实验薄膜（共 6 份样品）。

实验中主要从光学 性能和电学性能上对 AZO 薄膜和 ITO 薄膜进行了对比。1）在特定情况下 AZO 靶材与 ITO 靶材电学性能差距缩小。根据最终实验数据来看，AZO 薄膜和 ITO 薄膜的方块电阻以及电阻率随着薄膜的厚度增加而降低，并且 随着薄膜厚度的增加，AZO 薄膜与 ITO 薄膜方块电阻以及电阻率之间的差 距逐步缩小。当 AZO 薄膜厚度为 640nm 时，方块电阻以及电阻率为 32Ω·sq -1和 20.48*10 -4Ω·cm；无铟化是靶材降本的主要途径。锌价远低于铟价，AZO 靶材性价 比高于 ITO 靶材。2020-2022 年，铟价和锌价整体呈现上涨趋势，且涨幅 较大。截至 2022 年 10 月 13 日，我国铟价为 1425 元/kg。截至 2022 年 10 月 14 日，我国锌价为 25528 元/吨。随着光伏行业对于 ITO 靶材的需求量 不断增加，铟价或将持续走高。“双碳”进程持续加速，光伏发电在可再生能源中占据重要地位。装 机量方面：1）从全球角度来看，能源安全意识增强，光伏装机量整体呈 现 较 高 增 速 。 根 据 IRENA 统 计 ， 2021 年 全 球 新 增 光 伏 装 机 量 为 132.81GW，同比+5.74%。2021 年全球累计光伏装机量为 843.07GW，同 比+18.70%；2）从国内角度来看，我国光伏装机量持续高增。2022 年 H1 我国光伏新增装机容量 30.87GW，同比增长 137.26%。