机械设备行业深度分析报告：半导体设备零部件国产化加速（33页）

行业报告下载 2023年02月21日 07:32 管理员

半导体零部件按照服务对象，又可以分为半导体设备商直接采购的零部件，以及晶圆厂直接采购的零部件。 1）半导体设备商采购的零部件，即原装需求，零部件厂商直接向设备厂定制化提供的原装零部件；根据富创精密招股书，半导体设备中包含的零部件可以大致分为机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类，以及其他零部件。

其中，机械类、气体/液体/真空系统类在设备中应用广泛，成本占比较大。此外，根据富创精密招股书，设备成本中，一般 90%以上为原材料（即不同类型精密零部件产品），考虑到国际半导体设备公司毛利率约为 40-45%，因此全部精密零部件市场约占全球半导体设备市场规模的 50-55%。2）晶圆厂直接采购的耗材或备件：根据芯谋研究，中国大陆晶圆制造厂商采购设备零部件主要有石英件（Quartz）、射频发生器（RF Generator）、各种泵（Pump）、阀门（Valve）、吸盘（Chuck）等零部件，比重均在 10%左右。反应腔喷淋头（Shower Head）、边缘环（Edge Ring）等零部件的采购占比也比较高。其他零部件包括测量仪器(Gauge)、质量流量计（MFC）、陶瓷材料(Ceramic)、密封圈（O-ring）等。总体上看，与设备商采购零部件相类似的是，泵、阀门、边缘环、密封圈等各类真空控制零部件是占比最多的采购设备，其次为射频发生器等电源类零部件。

半导体设备商生产设备中使用的零部件，可以大致根据公式设备销售额*成本占比 *原材料占比来计算。在半导体设备成本构成中，精密零部件的价值占比较高。根据富创精密招股书，国际半导体设备公司毛利率一般在 40%-45%（对应成本占比 55-60%），设备成本中一般 90%以上为原材料（主要为不同类型的精密零部件产品）。这里我们保守估计，假设设备销售额中成本占比为 55%，零部件占比为 80%，根据 Semi 预计，2022 年全球半导体设备总销售额有望达到 1175 亿美元，则我们预计 2022 年全球半导体设备销售额对应零部件市场规模约为 517 亿美元。根据 SEMI 数据，2021 年中国半导体设备销售额在全球中占比约为 28.86%，假设我国设备零部件在全球中占比与设备占比相同，且 2022 年占比保持不变，则我们预计 2022 年中国大陆半导体设备销售额对应零部件市场规模约为 149 亿美元。