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2025-03-28 9 化工行业报告
空气气体指利用空气分离设备,从空气中分离出来的工业气体(广义上衍生为通过物理反应分离的工业气体),主要通过分离 空气或工业废气制取。空气气体主要包括氧气、氮气、氩气等,在空气中的体积占比分别为20.95%、78.08%、0.93%。合成气体 指通过化学发应制取的工业气体,包括乙炔、氨气、二氧化碳等。 大宗气体是现代工业的重要基础原料,广泛应用于国民经济众多领域。目前,大宗气体消耗最多的行业是冶金和化工行业。新 能源、半导体、电子信息、生物医药、新材料等多个产业的快速发展,也促进了大宗气体应用领域的延伸。
电子特种气体是集成电路制造所必需的支撑性材料,广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节,对于纯度、 稳定性、包装容器等具有较高的要求,被誉为半导体行业的“粮食”和“血液”。集成电路制造涉及上千道工序,工艺极其复杂 ,需使用上百种电子特种气体。电子气体在集成电路制造中,根据不同工艺,可分为掺杂用气体、离子注入气、清洗用气、刻蚀用气体和光刻气;在显示面板生产 中,主要工艺分为清洗、刻蚀和薄膜沉积,其中,CVD在玻璃基板上沉积二氧化硅薄膜所使用的特种气体,主要为三氟化氮、硅烷、 磷烷、超纯氨气等;在光伏电池生产中,主要工艺为扩散、薄膜沉积和刻蚀等,其中,用于扩散工艺的主要气体为三氯氧磷和氧气 。
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