分子泵行业报告：高真空设备（15页）

分子泵具有广泛应用场景，半导体设备用分子泵 2028 年突破 74 亿元。在半导 体工业的推动下，分子泵在光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设 备市场拓展加速。2022 年全球半导体设备用分子泵市场规模 42.94 亿元，未来有望 以 9.78%的复合增速增长，2028 年突破 74.80 亿元。分子泵行业市场竞争激烈，国产化替代趋势明显。全球市场来看，普发 Pfeiffer、 岛津 Shimadzu、荏原 Ebara、爱德华 Edwards 和莱宝 Leybold 为全球 CR5，占比超过 市场份额的 50%。国内市场来看，由于国外分子泵产品长期在国内市场发展，国内科 研机构及下游需求企业对国外优势品牌的产品性能及认知度较高，国外优势企业在中 国市场的占有率处于绝对优势地位。 我国分子泵市场主要分为三个梯队。1）第一梯队：以海外厂家普发 Pfeiffer、 爱德华 Edwards、岛津 Shimadzu 及国内优势企业中科科仪为代表，销售额超过 5000万元。2）第二梯队：以海外厂家莱宝 Leybold、安捷伦及国内世纪玖泰、四海祥云为 代表，销售额位于 1000-5000 万。3）第三梯队：主要以国内厂家为主，目前销售额 不足千万。最后，我们对国内重点分子泵企业的产品情况进行了具体比较，考虑到分子泵各 产品间差距较大，因此这里我们以磁悬浮分子泵为代表进行展开： 海外企业应用优势明显，国产化产品竞争力提升，差距逐步缩小。由于磁悬浮分 子泵涉及多学科交叉协同，因此技术及生产门槛较高。目前全球范围内能够完成产品 深度研究的团队并不多，其中德国普发、英国爱德华竞争优势明显，另外日本大阪真 空、德国莱宝也是主要代表。