电子特气行业报告（15页）

特气产品跟随下游技术快速更迭：在特种气体的各个应用领域中，电子半导体领域对特 种气体的纯度和质量稳定性要求最高。在电子半导体领域，特种气体广泛用于集成电路、液 晶面板、LED、光纤通信、光伏等行业，近年来下游产业技术快速更迭，特别是在集成电路 制造领域，制程节点不断减小，从 28nm 制程到 5nm 制程，晶圆尺寸从 8 寸晶圆到 12 寸晶 圆。作为集成电路制造的关键材料，伴随着下游产业技术的快速迭代，特种气体对纯度和精 度的要求持续提高，比如在纯度方面，普通工业气体要求 99.99%左右，但是在先进制程的 集成电路制造过程中，气体纯度要求通常在 6N（99.9999%）以上。 国产替代迎来历史机遇，仍有较大空间：国内特种气体发展的初期由于技术、工艺、设 备等多方面差距明显，产品大多依赖进口。随着技术的逐步突破，国内气体公司在电光源气 体、激光气体、消毒气等领域发展迅速，但与国外气体公司相比，大部分国内气体公司的供 应产品仍较为单一，纯度级别不高，尤其在集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏等。

高端领域，仍有不少品类的特种气体产品主要依赖进口。根据中国工业气体工业协会统计， 目前集成电路生产用的特种气体，我国仅能生产约 20%的品种，其余均依赖进口。目前我 国国内企业所能批量生产的特种气体仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节， 对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。 据卓创资讯统计，2018 年我国电子特种气体市场中空气化工、液化空气、大阳日酸、 普莱克斯、林德五家国外气体公司的合计市场占比为 88%，国内气体公司市场份额合计仅占 12%。

尽管与国际气体公司相比，国内气体公司在资金、技术、设备等方面仍有差距，但在技 术不断突破、国家政策大力扶持、下游市场发展迅速等多重因素影响下，加上国内企业拥有 的国际企业无法比拟的低成本、贴近客户、反应灵活等优势，国内气体企业的竞争力将不断 增强，市场份额有望扩大。2019 年 7 月成立的国家集成电路产业投资基金二期 2000 亿规模 的资金募集完成，并将有望撬动超过 6000 亿的地方和社会资金，大基金二期明确将半导体 材料领域作为投资的重点方向之一，以电子特气为代表的半导体材料企业有望再次迎来国家 层面的密集支持。 产品定制化：随着电子半导体行业的产品精细化程度不断提高，客户所需的产品定制化 特点明显，要求气体供应商能够根据其需求进行定制化生产，对气体供应商的技术与工艺水 平提出了较高要求。以集成电路光刻工艺用到的光刻气为例，要求必须与光刻机配套，目前 通过全球光刻机龙头 ASML 认证的国内企业仅有一家。 服务为王：由于气体产品的特殊性，其使用过程中的包装物、管道以及供气系统的处理 均会对最终使用的产品性能产生影响，而且半导体制造领域应用的特种气体和化学品品种繁 多，对气体质量、及时性、安全性的要求高，半导体制造商常常会将一整套气体和化学品综 合服务转包给专业气体公司，由气体公司承担其全套气体及危险化学品的调配、检测、库存 管理及设备运维管理等服务。目前电子半导体领域的气体供应系统运维服务主要被几大外资 气体巨头所垄断，但是国内企业也正在逐步渗透该领域，从气体生产商向服务商转变。