电子特气行业报告（15页）

行业报告下载 2020年07月27日 07:10 管理员

特气产品跟随下游技术快速更迭：在特种气体的各个应用领域中，电子半导体领域对特种气体的纯度和质量稳定性要求最高。在电子半导体领域，特种气体广泛用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏等行业，近年来下游产业技术快速更迭，特别是在集成电路制造领域，制程节点不断减小，从 28nm 制程到 5nm 制程，晶圆尺寸从 8 寸晶圆到 12 寸晶圆。作为集成电路制造的关键材料，伴随着下游产业技术的快速迭代，特种气体对纯度和精度的要求持续提高，比如在纯度方面，普通工业气体要求 99.99%左右，但是在先进制程的集成电路制造过程中，气体纯度要求通常在 6N（99.9999%）以上。国产替代迎来历史机遇，仍有较大空间：国内特种气体发展的初期由于技术、工艺、设备等多方面差距明显，产品大多依赖进口。随着技术的逐步突破，国内气体公司在电光源气体、激光气体、消毒气等领域发展迅速，但与国外气体公司相比，大部分国内气体公司的供应产品仍较为单一，纯度级别不高，尤其在集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏等。

高端领域，仍有不少品类的特种气体产品主要依赖进口。根据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的特种气体，我国仅能生产约 20%的品种，其余均依赖进口。目前我国国内企业所能批量生产的特种气体仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。据卓创资讯统计，2018 年我国电子特种气体市场中空气化工、液化空气、大阳日酸、普莱克斯、林德五家国外气体公司的合计市场占比为 88%，国内气体公司市场份额合计仅占 12%。

尽管与国际气体公司相比，国内气体公司在资金、技术、设备等方面仍有差距，但在技术不断突破、国家政策大力扶持、下游市场发展迅速等多重因素影响下，加上国内企业拥有的国际企业无法比拟的低成本、贴近客户、反应灵活等优势，国内气体企业的竞争力将不断增强，市场份额有望扩大。2019 年 7 月成立的国家集成电路产业投资基金二期 2000 亿规模的资金募集完成，并将有望撬动超过 6000 亿的地方和社会资金，大基金二期明确将半导体材料领域作为投资的重点方向之一，以电子特气为代表的半导体材料企业有望再次迎来国家层面的密集支持。产品定制化：随着电子半导体行业的产品精细化程度不断提高，客户所需的产品定制化特点明显，要求气体供应商能够根据其需求进行定制化生产，对气体供应商的技术与工艺水平提出了较高要求。以集成电路光刻工艺用到的光刻气为例，要求必须与光刻机配套，目前通过全球光刻机龙头 ASML 认证的国内企业仅有一家。服务为王：由于气体产品的特殊性，其使用过程中的包装物、管道以及供气系统的处理均会对最终使用的产品性能产生影响，而且半导体制造领域应用的特种气体和化学品品种繁多，对气体质量、及时性、安全性的要求高，半导体制造商常常会将一整套气体和化学品综合服务转包给专业气体公司，由气体公司承担其全套气体及危险化学品的调配、检测、库存管理及设备运维管理等服务。目前电子半导体领域的气体供应系统运维服务主要被几大外资气体巨头所垄断，但是国内企业也正在逐步渗透该领域，从气体生产商向服务商转变。

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