衬底环节是金属材料在半导体器件中的关键环节,所谓衬底即是一种用于制 造半导体器件的材料基底,常见的衬底包括硅、锗、碳化硅等。在生产半导体芯 片的工艺流...
2024-03-05 35 新材料及矿产报告
半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。核心分为以下三代: 1) 第一代元素半导体材料:硅(Si)和锗(Ge);为半导体最常用的材料,起源于 20 世 纪 50 年代,奠定了微电子产业的基础。 2) 第二代化合物半导体材料:砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等;是 4G 时代的大部 分通信设备的材料,起源于 20 世纪 90 年代,奠定了信息产业的基础。 3) 第三代宽禁带材料:碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氮化铝(ALN)、氧化镓(Ga2O3) 等,近 10 年世界各国陆续布局、产业化进程快速崛起。 其中,碳化硅(SiC)为第三代半导体材料核心。核心用于功率+射频器件,适用于 600V 以上高压场景,包括光伏、风电、轨道交通、新能源汽车、充电桩等电力电子 领域。SiC 碳化硅是制作高温、高频、大功率、高压器件的理想材料之一:由碳元素和硅 元素组成的一种化合物半导体材料。相比传统的硅材料(Si),碳化硅(SiC)的禁 带宽度是硅的 3 倍;导热率为硅的 4-5 倍;
击穿电压为硅的 8-10 倍;电子饱和漂移 速率为硅的 2-3 倍。核心优势体现在: 1) 耐高压特性:更低的阻抗、禁带宽度更宽,能承受更大的电流和电压,带来更小尺 寸的产品设计和更高的效率; 2) 耐高频特性:SiC 器件在关断过程中不存在电流拖尾现象,能有效提高元件的开关 速度(大约是 Si 的 3-10 倍),适用于更高频率和更快的开关速度; 3) 耐高温特性:SiC 相较硅拥有更高的热导率,能在更高温度下工作。相同规格的碳化硅基 MOSFET 与硅基 MOSFET 相比,其尺寸可大幅减小至原来的 1/10, 导通电阻可至少降低至原来的 1/100。相同规格的碳化硅基 MOSFET 较硅基 IGBT 的总 能量损耗可大大降低 70%。 碳化硅功率器件具有高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势,将极大 提高现有使用硅基功率器件的能源转换效率,未来将主要应用领域有电动汽车/充电 桩、光伏新能源、轨道交通、智能电网等。
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