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2026-05-08 58 电子行业报告
半导体设备零部件是半导体设备的核心,半导体设备的绝大部分关键核心技术需要以精密 零部件作为载体来实现。根据全球半导体设备厂商公开披露信息,设备成本构成中一般原材料 占比 90%以上,考虑国际半导体设备公司毛利率一般在 40%-45%左右,从而全部半导体设备 零部件市场约为全球半导体设备市场规模的 50%-55%。 半导体设备零部件市场空间广阔。以半导体设备零部件占全球半导体设备市场规模的 50% 进行推算,根据 SEMI 的数据,2021 年全球半导体设备市场规模 1026 亿美元,由此推算 2021 年全球半导体设备零部件市场规模为 513 亿美元,2021 年中国半导体设备零部件市场规模为 148 亿美元;预计 2022 年全球半导体设备市场规模为 1175 亿美元,由此推算预计 2022 年全 球半导体设备零部件市场规模为 587 亿美元。全球半导体设备零部件市场主要被美日欧厂商所占据。根据 IC World 的数据,2020 年全 球主要的 44 家半导体核心零部件供应商中,美国供应商 20 家,占比约 45%;日本供应商 16 家,占比约 36%;德国供应商 2 家、瑞士供应商 2 家、韩国供应商 2 家、英国供应商 1 家等; 美日欧半导体零部件供应商占比超过 90%,主导全球半导体设备零部件市场。
根据 VLSI Research 的数据,2020 年全球半导体设备零部件前 10 大供应商包括有蔡司 ZEISS(光学镜头)、MKS 仪器(MFC、射频电源、真空产品)、Edwards(真空泵),Advanced Energy(射频电源)、Horiba(MFC),VAT(真空阀件)、Ichor(模块化气体输送系统以及其 他组件)、Ultra Clean Tech(真空阀件)、ASML(光学部件)及 EBARA(干式真空泵),全球 前十大半导体设备零部件供应商近 10 年的市场份额总和稳定在 50%左右。美国 BIS 新规加速半导体设备零部件国产化进程。2022 年 12 月 15 日,美国商务部产业 安全局(BIS)发布文件计划将长江存储、上海微电子、寒武纪等 36 家中国实体加入实体清单。 2022 年 10 月 7 日,美国商务部产业安全局(BIS)宣布了一系列在《出口管理条例》下针对 中国的出口管制新规,BIS 这项新的半导体出口限制政策涉及到对中国的先进计算、半导体先 进制造进行出口管制;具体要限制美国的半导体设备在国内应用到 16/14nm 及以下工艺节点 (非平面架构)的逻辑电路制造、128 层及以上的 3D NAND 工艺制造、18nm 及以下的 DRAM 工艺制造;对中国超级计算机或半导体开发或生产最终用途的项目进行限制;限制美国公民支 持中国半导体制造或者研发。此次美国 BIS 新规明确对半导体先进制程设备、半导体设备零部 件进行出口限制,一定程度上会加速国内半导体设备、半导体设备零部件、半导体材料国产化 的进程。

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