自动探针台系统简报（10页）

自动探针台系统可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。相比于半自动探针台， 自动探针台系统具有更高的精度和效率，可以在短时间内完成大量的测试操作。自动探针台系统通常还配 备有晶圆材料处理搬运单元(MHU)、模式识别(自动对准)等功能，以确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐 个测试。自动探针台系统通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。半导体探针台属于信息技术产业，这是关系国民经济安全和发展的战略性、基础性、先导性产业，也是世界 主要国家高度重视、全力布局的竞争高地。全球各个地区和国家都在半导体及其相关产业进行政策倾斜。 随着半导体行业技术的快速发展，晶圆尺寸与工艺制程呈现并行趋势，对半导体测试探针台在多针测试、行 程控制、精度定位、精确对准等方面提出更高的技术标准，技术创新不断的驱动着行业向好发展。 半导体测试设备的运用贯穿整个半导体制造过程，在半导体产业链中起着成本控制和保证品质的关键作用。 若芯片厂商未能及时发现芯片故障，则需在下一阶段耗费十倍的成本以排查和处理故障。此外，通过及时有 效的检测，芯片厂商还可以合理筛选出不同性能等级的芯片或器件。因此，随着芯片生产成本日渐高涨，半 导体探针台的重要性也日渐凸显，下游需求旺盛。 主要阻碍因素: 半导体探针台行业为典型的技术密集型行业，涉及电子、机械、自动化、材料、图像识别、软件系统等多学 科领域，是多门类跨学科知识的综合应用，具有较高的技术门槛，对技术创新和产品研发能力要求极高，投 入成本较大。 半导体探针台产品的定制化程度较高，需要在客户现场经过安装调试、且客户自身已投入试产的情况下才 可进行测试和验收，其验收周期受晶圆生产工艺的成熟度、客户产线整体验收情况、客户工艺要求调整、现 场突发状况及其他偶然因素等多种因素影响，存在一定的波动性。