衬底环节是金属材料在半导体器件中的关键环节,所谓衬底即是一种用于制 造半导体器件的材料基底,常见的衬底包括硅、锗、碳化硅等。在生产半导体芯 片的工艺流...
2024-03-05 33 新材料及矿产报告
石英是无机非金属矿物,主要成分是二氧化硅,是水晶、玛瑙、河沙、硅石等的主要矿物成分, 一般为无色或乳白色,质地坚硬,常含有少量杂质成分,如铝、钾、钠、锂等。石英砂是石英石经粉 碎、筛选、酸洗、水洗、煅烧等工序制成的石英颗粒,我国一般通过石英砂的二氧化硅及氧化铁含量 的不同对其进行细分,主要分为普通石英砂、精制石英砂、高纯石英砂和超高纯石英砂。高纯石英砂指 SiO2 纯度极高、杂质元素含量极低的石英微粉,通常由高品质的天然石英矿物通过 物理化学技术提纯后生产。目前业内对高纯石英砂还没有建立统一的行业标准,在考虑原料矿石质量、 测试手段、现有提纯工艺和行业质量要求的情况下,我国采用的高纯石英砂的标准是 SiO2 纯度大于 99.9% 的石英砂。 我国高端高纯石英砂目前仍需从海外进口。以 SiO2 纯度为参考进行分级,纯度达到 99.9%为 3N, 达到 99.99%为 4N,达到 99.999%为 5N,目前全球可实现规模化生产的石英砂纯度达到 99.999%(5N) 以上。市场依据 SiO2 含量将高纯石英砂分为低端、中端、高端产品,二氧化硅纯度为 3N 到 4N 的为低 端产品,加工难度较低,售价较低;纯度为 4N 到 4N8 的高纯石英砂为中端产品,此类产品原材料及提 纯工艺有更高要求;纯度为 4N8 以上的高纯石英砂为高端产品,此类产品受限于国内石英原矿资源的 匮乏,以及对提纯工艺要求极高,目前国内加工企业较少。我国低端、中端高纯石英砂已实现国产化, 高端产品仍以海外进口为主。 石英中的杂质含量对石英砂提纯难度有影响。 以杂质元素含量为分级参考,杂质元素总量低于 50ug/g 的石英定义为高档石英材料,其中包括高纯石英(杂质元素总量:8~50ug/g)、极高纯石英(杂 质元素总量:1~8ug/g)和超高纯石英(杂质元素总量:<1ug/g),后两种石英需进行人工加工合成。在 石英砂的众多杂质元素中,Al 和 Ti 的含量通常较高,简单的提纯技术很难将其去除,精细的提纯则会 增加生产成本,因此石英中 AL 和 Ti 的含量也是制约石英砂纯度的因素。
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