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湿电子化学品(Wet Chemicals),又称超净高纯试剂或工艺化学 品(Process Chemicals),是指主体成分纯度大于 99.99%,且金属杂 质含量、颗粒控制等指标符合 SEMI G1-G5 级标准的专用化学试剂。 其中 G1 级要求金属杂质≤10ppm(ppm 为百万分之一)、控制≥1.0µm 颗粒;G5 级要求金属杂质≤10ppt(ppt 为万亿分之一)、>0.5µm 颗 粒<1 个/mL,适用于先进制程。

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