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2026-04-01 42 智能制造行业报告
真空泵行业报告（28页）
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2026年04月03日 14:49
管理员
干式真空泵更适用于真空度及清洁度要求高的场景。液环式真空泵与干式真空 泵在结构、工作原理、系统组成及适用工况上均存在差异。液环式真空泵适用 于气量大、真空度要求较低及抽吸介质纯度要求相对不高的工况，而干式真空 泵则适用于小气量、高真空及介质清洁度要求高的工况。值得注意的是，在干 式真空泵的矩阵中，螺杆真空泵因在真空度、抽速、运行稳定性及能耗控制等 核心性能指标上表现优异，已广泛应用于欧美日等发达经济体的微电子、半导 体、制药、精密加工等高端制造领域，成为该类高要求场景下真空获得设备的 主流应用类型。
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