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2024-03-05 24 电子行业报告
对于半导体器件而言,其关键性质是在一定温度区间内,电导率可以通过掺杂手段加以控制。对于电中性 的 IV 主族、III-V 主族半导体等而言,进行 V 主族元素掺杂,会增加电子作为多数载流子,形成施主能级,并 获得 N 型半导体;进行 III 主族元素掺杂,会增加空穴作为多数载流子,形成受主能级,并获得 P 型半导体。半导体功能的实现受到基体材料理化性质的限制。 首先,基体材料需要有一个较宽的能隙,以确保在没有掺杂的情况下,本征载流子浓度低于最轻掺杂区掺 杂浓度的温度上限较高,且临界击穿场强较高;能隙也不应过宽,致使自建电势和门槛电压过高。 其次,基体材料在禁带中的能级应尽可能少,使得阻断电压高、漏电流低。 再次,基体材料需要有足够高的自由载流子迁移率(电子迁移率高于空穴,故以电子迁移率为准),使得相 应功率半导体器件的最大允许电流密度较高。 而且,基体材料需要有足够高的载流子饱和漂移速度(同样以电子迁移率为准),使得相应功率半导体器件 的最大允许频率较高。 最后,稳定的化学性质、较高的热导率等对高性能器件的实际应用也具有重要作用。 典型半导体材料包括以锗为代表的第一代半导体材料,以硅为代表的第二代半导体材料,和以碳化硅、氮 化镓为代表的第三代半导体材料(均为单晶材料)。
其中,锗因为能隙太小,允许的工作温度上限仅为 70℃,不是主流的功率器件材料;硅综合性能均衡、单 晶生产成本低、易制备二氧化硅绝缘层,是最广泛应用的半导体、功率器件材料;碳化硅(晶体结构多样,其 中 4H 晶型综合性能最优越)禁带宽,击穿场强大,虽然电子迁移率稍低但可进行更重的掺杂,也可制备二氧 化硅绝缘层,且热导率高便于散热,故耐高压大电流、有更低的导通和开关损耗,性能优越,成本高;氮化镓 高频特性好,但以碳化硅为衬底外延是主要生产方法,成本更高,且热导是短板。综合各种因素,硅和碳化硅 最适于作为新能源汽车功率半导体的基础材料。常用的功率半导体器件包括功率二极管(Power Diode,含 pin 二极管/肖特基二极管)、双极型晶体管(BJT)、 晶闸管(SCR)、门极可关断晶闸管(GTO)、金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)、绝缘栅双极型晶体 管(IGBT)等。不同类型功率半导体器件的对电信号可控程度、驱动信号、有效信号波形、载流子参与导电情 况可能不同。
对于仍然采用硅基材的纯电动车型电控用功率半导体,有必要以较低的开关速度、较高的驱动功率 与开关损耗、较复杂的驱动电路和二次击穿危险为代价,将栅极(即图中门极)通过一层氧化膜(p+层)与发 射极实现电隔离,应用相当于 MOS 和 BJT 组合的,耐压能力、电流密度及最大功率更高,高压条件下导通电 阻更低的 IGBT 器件。
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