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半导体射频电源行业报告:刻蚀+CVD设备的核心(30页)

行业报告下载 2023年12月27日 14:06 管理员

什么是射频电源?是用来产生射频电功率的电源。核心作用—通过产生高频电磁 场,将在低压或常压下的气体进行电离、从而形成等离子体。由于不同气体产生的等离 子体具有不同的化学性能,从而在腔体内部实现不同的工艺需求。 下游应用:射频电源被广泛应用于半导体工艺设备、LED 与太阳能光伏产业、科学 研究、射频感应加热、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等领域。工作频率一般处于 2MHz 至 60MHz 之间。射频电源由五部分组成:输入电路、功率放大电路、阻抗匹配网络、信号检测电路 和控制电路。其中,功率放大和阻抗匹配是技术突破的重难点。 ① 输入电路:包括直流供电电源模块+振荡电路模块,作用分别为供电和发出信 号源。核心作用:决定电源最终输出的频率和波形,进而影响系统稳定性。 ② 功率放大电路:射频电源的核心,是制约射频电源发展的关键因素。由几个 固态晶体管组成。核心作用:振荡电路产生的信号源功率难以达到设备用电 要求,故须进行功率放大,从而使功率达到输出要求,其性能决定了电源系统 整体性能。 ③ 阻抗匹配网络:射频传输的效率关键在于阻抗匹配,其目的是保证信号或能 量能有效从“信号源”传送到“负载”。其主要功能是实时跟踪负载阻抗变 化,保障射频电源和负载之间一种处于抗阻匹配状态。核心作用:使得射频 功率源输出的功率能被负载全部吸收,从而提高系统的频率和稳定性能。 ④ 信号检测电路:用于检测射频电源负载的电压电流信号,并传输给控制电 路。 ⑤ 控制电路:由脉冲信号发生器和调制驱动电路组成。主要作用:是调制电源 的信号输出,使机器持续稳定工作,实现对射频电源输出功率的控制。 在电路中,功率变化过程为:低频交流电(50Hz/ 60Hz)—直流电—高频交流电 (2MHz 或以上)。

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资源名称:半导体射频电源行业报告:刻蚀+CVD设备的核心(30页)


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