异质结太阳能电池设备研究报告（29页）

铝背场电池原理：铝背场（Al-BSF）电池是指在晶硅光伏电池P-N结制备完成后，通过在硅 片的背光面沉积一层铝膜，制备P+层，从而形成铝背场。其既可以减少少数载流子在背面复合 的概率，同时也可以作为背面的金属电极，因此能够提升光伏电池的转换效率。 PERC电池原理： Passivated Emitter and Rear Cell，即钝化发射极及背面电池。相较 于铝背场，PERC电池进行了背面的工艺升级，采取了氧化铝+氮化硅的背钝化叠层结构，实现进 一步的钝化。

铝背场电池工艺：①清洗制绒；②扩散制结；③边缘刻蚀和去磷硅破璃； ④沉积钝化层 和减反射层；⑤-⑥丝网印刷及烧结；⑦自动分选工序。PERC电池工艺：在铝背场电池工艺基础上，新增两道工艺：①背面沉积AI2O3和SiNx :H。 ②激光开槽形成背接触。

铝背场电池设备：铝背场电池片设备主要包括8类，根据前述工艺分别对应制绒清洗设备、 扩散炉、刻蚀设备、PECVD、丝网印刷设备、烧结炉、自动分选机；以及应用于整体制造过程 中的自动化设备，包括自动化装卸片机和上下片机等。PERC电池设备：在铝背场电池设备的基础上新增两类设备：一是沉积背面钝化叠层的设备； 二是激光开槽形成背接触的设备。

目前电池片技术的迭代体现在两个方面：一是在PERC的基础上进行持续的工艺改进，我们 称之为“2.5代”技术，这类技术升级的优势是能够实现与原有产线的良好兼容，更容易实现产 业化。二是对PERC工艺进行了颠覆的HIT电池，我们称之为“3代”技术，这类技术的优势是光 电转换效率高，代表行业下一代技术的发展方向。

HIT技术：PERC之后的全新工艺。HIT电池最早由日本三洋公司于1990年成功开发，因 HIT已被三洋注册为商标，因此又被称为HJT或SHJ。HIT电池同样是基于光生伏特效应，只是P- N结是由非晶硅（a-Si）和晶体硅（c-Si）材料形成的（背面的高低结亦然）。 HIT的优势：①结构对称，易于实现薄片化。②低温工艺，能耗低。③开路电压高，转换 效率高。。④温度系数低。光照升温下功率输出优于常规电池。⑤无LID（光衰）和PID（电位 诱发衰减，常规电池组件的玻璃中的电子迁移到电池片表面发生相互作用）效应。