预计 24 年电视全球零售额稳健增长,北美、西欧增速较快。据欧睿数据,预计 24 年电视全球零售额为 1180 亿美元,同比+0.6%,其中亚太/西欧...
2025-04-17 16 电子行业报告
金属刻蚀主要是互连线及多层金属布线的刻蚀,刻蚀的要求是:高刻蚀速率(大 于 1000nm/min);高选择比,对掩盖层大于 4:1,对层间介质大于 20:1;高的刻蚀 均匀性;关键尺寸控制好;无等离子体损伤;残留污染物少;不会腐蚀金属等。 金属刻蚀通常采用电感耦合等离子体刻蚀的刻蚀机。 1) 铝的刻蚀 铝是半导体制备中最主要的导线材料,具有电阻低,易于沉积和刻蚀的优点。刻 蚀铝,是利用氯化物气体所产生的等离子体完成的。铝和氯反应产生具有挥发性 的三氯化铝(AlCl3),随着腔内气体被抽干。一般情况下,铝的刻蚀温度比室温 稍高(例如 70℃),AlCl3 的挥发性更佳,可以减少残留物。除了氯气外,铝刻蚀 常将卤化物加入,如 SiCl4,BCl3,BBr3,CCl4,CHF3 等,主要是为了去除铝表 面的氧化层,保证刻蚀的正常进行。 2) 钨的刻蚀 在多层金属结构中,钨是用于孔填充的主要金属,其他的还有钛,钼等。可以用 氟基或氯基气体来刻蚀金属钨,但是氟基气体(SiF6,CF4)对氧化硅的选择比较 差,而氯基气体(CCl4)则有好的选择比。通常在反应气体中加入氮气来获得高 的刻蚀胶选择比,加入氧气来减少碳的沉积。用氯基气体刻蚀钨可实现各向异性 刻蚀和高选择比。干法刻蚀钨使用的气体主要是 SF6,Ar 及 O2,其中,SF6 在等 离子体中可被分解,以提供氟原子和钨进行化学反应产生氟化物。
氮化钛刻蚀 氮化钛硬掩膜取代传统的氮化硅或氧化层掩膜,用于双大马士革刻蚀工艺。传统 掩膜和低 k 介电层之间的选择比不高,会导致在刻蚀完成后出现低 k 介电层顶部 圆弧状轮廓以及沟槽宽度扩大,沉积形成的金属线之间的间距过小,容易发生桥 接漏电或直接击穿。氮化钛刻蚀通常运用于硬掩膜开孔的过程中,主要反应产物 为 TiCl4。 1.3.5. 介质刻蚀 介质刻蚀以二氧化硅,氮化硅等电介质为主要刻蚀对象,被广泛应用在芯片制造中。 电介质刻蚀主要用于形成接触孔和通道孔,用以连接不同的电路层级。此外,介 质刻蚀覆盖的工艺步骤还有硬式遮蔽层刻蚀和焊接垫刻蚀(部分)。介质刻蚀通常 采用电容耦合等离子体刻蚀原理的刻蚀机。二氧化硅膜的刻蚀通常采用含有氟化碳的刻蚀气体,如 CF4,CHF3,C2F6,SF6 和 C3F8 等。刻蚀气体中所含的碳可以与氧化层中的氧产生副产物 CO 及 CO2,从而去 除氧化层中的氧。CF4 是最常用的刻蚀气体,当 CF4 与高能量电子碰撞时,就会 产生各种离子,原子团,原子和游离基。氟游离基可以与 SiO2 和 Si 发生化学反 应,生成具有挥发性的四氟化硅(SiF4)。氮化硅膜的刻蚀可以使用 CF4 或 CF4 混合气体(加 O2,SF6 和 NF3)进行等离子 体刻蚀。针对 Si3N4 膜,使用 CF4—O2 等离子体或其他含有 F 原子的气体等离子 体进行刻蚀时,对氮化硅的刻蚀速率可达到 1200Å/min,刻蚀选择比可高达 20:1, 主要产物为具有挥发性,方便被抽走的四氟化硅(SiF4)。
标签: 电子行业报告
相关文章
预计 24 年电视全球零售额稳健增长,北美、西欧增速较快。据欧睿数据,预计 24 年电视全球零售额为 1180 亿美元,同比+0.6%,其中亚太/西欧...
2025-04-17 16 电子行业报告
受下游需求影响及我国设备商国产替代加速,2024年我国引线键合机进口市场空间约6.18亿美元,仍显著低于 2021年高峰期进口市场空间的15.9亿美元...
2025-04-11 42 电子行业报告
满足飞速发展的深度神经网络对芯片算力的需求,昇腾AI处理器本质上是一个SoC(System on Chip)。以昇腾310 AI 处理器为例,主要可以...
2025-03-29 77 电子行业报告
最新留言