半导体明暗场缺陷检测设备行业报告：前道缺陷检测（17页）

行业报告下载 2023年01月08日 06:46 管理员

根据IC Insights最新数据，2021年全球半导体IC市场总销售额达到了5098亿美元，较2020年增长了25%，预计2022年半导体总销售额将增长11%，达到创纪录的5651亿美元。随着市场需求的不断增加，芯片制造商，设备供应商等众多产业链参与者都在加速前行，新能源汽车、光伏产业、工业控制、高端制造等领域的高速发展将为半导体行业提供巨大发展机遇。全球及中国半导体设备市场规模持续增长，中国占比攀升。国际半导体产业协会（SEMI）数据显示，2013-2021年全球半导体设备市场规模由318亿美元增长至1026亿美元，年均增长率达15.77%，同期中国市场规模由34亿美元增长至296亿美元，年均增长率达31.07%。其中，2021年是半导体行业加速扩大投资、产能的关键一年，全球半导体设备市场增速高达44.10%，较2020年提高25.04个百分点，国内市场增速高达58.23%，较2020年的38.67%提高19.56个百分点。2013-2021年中国半导体设备市场规模占全球的比重整体上呈现稳步上升趋势，2021年这一比例达到29%，中国再次成为全球最大的半导体设备市场。除2017年外，2013-2021年中国半导体设备市场增速均远高于全球。SEMI预计，半导体设备（包括晶圆制造设备、检测设备和封装设备）的全球总销售额将在2022年达到1175亿美元，较2021年增长15%，并将在2023年增长至1208亿美元。

按销售额计，前道量检测设备市场占设备市场比重超10%，缺陷检测设备细分占比过半。作为半导体设备市场的重要组成部分，前道量检测设备市场规模仅次于薄膜沉积设备、刻蚀设备和光刻机。根据Gartner统计，以销售额统计，2021年全球前道量检测设备市场规模为104亿美元，约占半导体制程设备（WFE）市场规模的11%。得益于半导体行业的整体的快速发展，我国前道量检测市场规模增长较快，由2016年的7亿美元增长至2021年的24亿美元，年复合增长率达到27.94%，已成为全球最大的前道量检测市场。根据VLSI Research预测，2022年我国前道量检测市场规模将达到28亿美元，较2021年增长17%。前道量检测设备可以细分为量测设备、缺陷检测设备以及过程控制软件，根据SEMI统计，以销售额统计，缺陷检测设备在前道量检测设备中占比最高，达到55%，第二是量测设备，占比34%，过程控制软件占比11%。前道量检测设备市场中，膜厚量测设备、关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）以及套刻误差量测设备的销售额占比分别为12%、12%以及9%；有图形晶圆检测设备、无图形晶圆检测设备、电子束检测设备以及宏观缺陷检测设备的销售额占比分别为34%、5%、12%以及6%；其他设备占比10%。由此可见，有图形晶圆缺陷检测设备的市场空间巨大。无图形晶圆缺陷检测多使用暗场系统，有图形晶圆缺陷检测多使用明场系统，由此可以预测，未来基于明场光学技术的有图形晶圆缺陷检测设备发展前景广阔。