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2025-03-29 10 电子行业报告
集成电路工艺制程达到 0.25 微米后,步进扫描式光刻机的扫描曝光视场尺寸与曝 光均匀性更具优势,逐步成为主流光刻设备。其利用 26mm x 8mm 的狭缝,采用 动态扫描的方式(掩膜版与晶圆片同步运动),已经可以实现 26mm x 33mm 的曝 光场。当前曝光场扫描完毕后,转移至下一曝光场,直至整个晶圆片曝光完毕。通过配置不同类型的光源(I 线、KrF、ArF,EUV),步进扫描光刻机可以支持所 有集成电路工艺节点;但为满足高端工艺节点的性能要求,每一代步进扫描光刻 机都历经了重大技术升级。例如:步进扫描式光刻机 26mm x 8mm 的静态曝光场 相对较小,降低了物镜系统制造的难度;但其工件台与掩膜台反向运动的动态扫 描方式,提升了对运动系统的性能要求。对此,荷兰 ASML 公司于 2001 年首次推 出了双工件台,满足先进工艺的的速度、精度、稳定性要求。自 1990 年美国 SVGL 公司推出 Micrascan I 步进扫描光刻机以来,全球主流光刻 机厂商均采用步进扫描光刻原理。这其中,DUV 步进扫描光刻机包揽 7 纳米及之 前的全部工艺制程。在 1990 到之后的这近 30 年时间里,集成电路制造工艺水平 已经发生翻天覆地的变化。而为了满足先进制程的各项要求,光刻机除了之前提 到的双工件台外,还采用了多项其他重大革新。
更高端的工艺制程的集成电路,具有更小的线宽,这就需要光刻机具有更高的曝 光分辨率。此时就需提到决定光刻分辨率的公式 R=K1・λ/Na。其中,K1 为工艺 因子常数,与照明方式、掩膜类型、光刻胶显影性能等参数相关; λ为光源波长; Na 为物镜的孔径数值。光刻机不断提高物镜的孔径数值,并采用波长更短的光源 来提高分辨率水平。SVGL 公司于 1993 年推出的 Micrascan II 型光刻机,采用 250nm 汞灯光源,分辨 率为 350nm,孔径数值为 1.35。1995 年,日本尼康推出全球首台采用 248nm 的 KrF 光源的光刻机,分辨率达到 250nm;并于 1999 年推出首台采用 193nm 的干式 ArF 光源的光刻机 NSR-S302A,分辨率小于 180 纳米。在此之后,光源波长一直停滞 在 193nm 水平,提升分辨率主要依赖改良物镜,提升孔径数值。 针对如何进一步提升分辨率的问题上,各厂家产生技术争议。日本企业计划采用 157nm 的 F2 光源;荷兰 ASML 决定采用台积电研发副总监林本坚提出的,在物 镜镜头和晶圆之间增加去离子水增大折射率的设想。ASML 于 2004 年推出首台浸 没式光刻机(ArFi)TWINSCAN AT 1150i,获得客户迅速认可,市场份额得以快 速攀升。
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