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2025-03-29 8 电子行业报告
半导体量检测设备市场空间广阔。 半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂持续扩产,国内半导体设备市场长期有望稳健增长。质量控制贯穿晶圆制造全过程,是芯片生产良 率的关键保障,先进制程将对工艺控制水平提出更高要求,量检测设备价值量有望倍增。我们测算,2023/2024/2025/2026年全球半导体量 检测设备市场空间分别为105/120/138/145亿美元,CAGR达11.5%,中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为35/41/48/51亿美元, CAGR达12.8%。 多系统组合有望成为检测技术方向。 我们测算,2022年全球光学/电子束/X光检测设备市场份额分别为74.2%/19.7%/2.2%,光学检测速度快、无接触,然而先进节点检测灵敏 度有限;电子束检测精度较高,然而速率较慢、设备成本较高;随着芯片材料和结构复杂性持续提升,多系统组合有望成为检测技术方向。近年量检测设备国产替代正在加速 。据VLSI Research、QYResearch,2020年全球半导体量检测设备行业CR5达82%,KLA历经多次并购,产品种类齐全,2020年KLA量 检测设备全球市占率达51%;ASML将量检测设备与EUV系统配套,电子束检测设备竞争优势显著,据the information network,2022年 ASLM电子束检测设备全球市占率达50%。目前量检测设备国产化率较低,本土主要供应商包括上海精测、中科飞测和睿励仪器,2018- 2022年三家公司国内市场份额合计0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%,地缘因素影响下,量检测设备国产替代正在加速。
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