光互联CPO行业报告：中介层技术的共封装光学，台积电COUPE引领硅光集成落地（24页）

行业报告下载 2026年06月30日 14:15 管理员

COUPE 对硅光器件线宽实施均匀度监控与优化，从而保障器件整体性能。仿真与实测数据表明：硅光器件线宽、刻蚀深度或膜厚每出现 1 纳米偏差，微环谐振器的谐振谷波长、光栅耦合器的峰值耦合波长就会偏移 0.5~2 纳米。为保障器件整体性能，制程尺寸偏差需控制在数纳米范围内。台积电 COUPE 平台借助先进制程设备实现 SPGC（硅基光栅耦合器）、MRR（微环谐振器）片内波长 3σ波动分别为 1.44 nm、1.32 nm。图 9 展示了台积电 COUPE 平台制造的硅基光栅耦合器（SPGC）/ 微环谐振器（MRR）器件性能指标波动情况：(a) 硅基光栅耦合器线宽（CD），(b) 硅基光栅耦合器沟槽深度，(c) 微环谐振器沟槽深度，(d) 硅基光栅耦合器峰值波长，(e) 微环谐振器谐振谷波长。

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