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2025-04-17 15 电子行业报告
典型的光刻工艺流程一般包括 8 个步骤,分别是底膜准备、涂胶、软烘、对准曝 光、曝光后烘、显影、坚膜、显影检测;光刻过程中,量测设备、涂胶显影设备与光刻机配 合运行。①底膜准备:对原始的硅片进行清洗、脱水,并向其涂抹增粘剂。②涂胶:对晶圆 表面按照指定的厚度和均匀性涂抹光刻胶,同时将边缘和多余的光刻胶清洗掉。③软烘:去 除光刻胶里的溶剂,增加粘合性。④对准曝光:将掩膜版和晶圆对准后进行光照曝光。⑤曝 光后烘:通过适度的温度来激发光刻胶,使部分光刻胶能够更好的溶于显影液,提高显影的 分辨率。⑥显影:向已经曝光的晶圆涂抹显影液,使光刻胶上被照射过的区域溶解,形成电 路图型。⑦坚膜:通过烘焙进一步的去除残留的光刻胶溶液,同时提高光刻胶的粘性。⑧显 影检测:检查晶圆上显影后的团是否符合要求,如果不符合要求则需要重复进行光刻步骤。 在光刻过程中,量测设备、涂胶显影设备与光刻机配合运行,涂胶显影设备在光刻过程中负 责光刻胶的涂抹、烘烤,显影液的喷涂清洗等功能,涂胶显影设备的功能和设备质量直接影 响到光刻工艺整体的良率。量测设备主要对光刻后的电路图形进行套刻误差以及关键尺寸的 测量,如果出现误差过大的情况则需要重新进行光刻步骤,确保生产出来的芯片不存在图案 缺陷,同时将错误信息反馈给光刻系统以用来改善相关工艺。
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