灵巧手或为人形机器人多代际更迭最受益环节。机器类人化发展契合现实世界需求, 2025 年进入人形机器人量产元年,且行业需求有望高增。参照中商产业研究院...
2025-04-18 18 智能制造行业报告
薄膜沉积工艺是指在硅片衬底上沉积一层功能薄膜。根据薄膜材料的不同可以分 为金属薄膜(AL/Cu/W/Ti)、介质薄膜(SiO2/Si3N4)以及半导体材料薄膜(单 晶Si、多晶Si)。如果将芯片按照系统级-模块级-寄存器传输-逻辑门-晶体管这样 自上而下的视角拆解,将得到成千上万个晶体管以及连接它们的导线。相应的,晶 圆加工工序可大致拆解为基板工序FEOL(负责在基板上制造出晶体管等部件形成 MOS结构、介质膜、接触孔等结构)和布线工序BEOL(将FEOL制造各部件与金 属材料连接布线形成电路)。而构成这些微观结构的主要“骨架”,起到产生导电 层或绝缘层、阻挡污染物和杂质渗透、提高吸光率、临时阻挡刻蚀等重要作用的, 正是上述各种材质的薄膜。只有通过重复进行薄膜沉积-光刻-刻蚀等步骤,才能在 FEOL和BEOL工序中实现微观结构的堆叠组合。
市场空间:半导体行业整体景气度提升,拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加。 根据拓荆科技招股书引用的Maximize Market Research,2020年全球半导体薄膜 沉积设备市场规模达172亿美元,年复合增长率11.2%,薄膜沉积设备(包含CVD 及其他沉积设备)在晶圆产线各类设备中的价值占比将稳定在20%以上。未来,集 成电路制造业产能扩张、产品升级和技术节点突破将带来半导体薄膜沉积设备市场 规模的高速增长。根据Maximize Market Research预测,2025年全球半导体薄膜 沉积设备市场规模将扩大至340亿美元,年复合增速13%以上。展望未来,下游晶圆厂扩产增效、逻辑芯片代工厂先进产线占比提升以及FLASH 存储芯片3D NAND技术普及将进一步推动薄膜沉积设备的行业空间扩容。先进制 程对薄膜工艺和材料的精密化、多样化要求将催生更多行业增长点,为国产替代提 供契机。
相关文章
灵巧手或为人形机器人多代际更迭最受益环节。机器类人化发展契合现实世界需求, 2025 年进入人形机器人量产元年,且行业需求有望高增。参照中商产业研究院...
2025-04-18 18 智能制造行业报告
产品供应链重合度高,车端降本经验有望复用于具身智能。目前人形机器人与汽车的部分零部件具备一定技术相通性,二者在感知端的视觉、决 策端的芯片以及执行端的...
2025-04-18 18 智能制造行业报告
2025年将有望成为低空经济从前期规划转向产业落地的元年。前期各地建设的试验场将逐渐投入使用,低空司将解决行业标准统一、技术 发展方向、管理机制协同等...
2025-04-17 32 智能制造行业报告
预计 24 年电视全球零售额稳健增长,北美、西欧增速较快。据欧睿数据,预计 24 年电视全球零售额为 1180 亿美元,同比+0.6%,其中亚太/西欧...
2025-04-17 13 电子行业报告
人形机器人又称仿生机器人,一般认为人形机器人是一种模仿人类外形的机器人,除具备人形和模拟人类动作外还兼具智慧化和可交互性等特点,包含三 大核心技术模块...
2025-04-14 55 智能制造行业报告
人形机器人传感器是什么? 传感器是机器人感知物理世界的窗口,也是机器人迈向智能化的基础。包含各类视觉传感器、听觉传感器、触觉传 感器、力传感器等,用于...
2025-04-13 35 智能制造行业报告
最新留言