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2025-04-02 20 智能制造行业报告
薄膜沉积工艺是指在硅片衬底上沉积一层功能薄膜。根据薄膜材料的不同可以分 为金属薄膜(AL/Cu/W/Ti)、介质薄膜(SiO2/Si3N4)以及半导体材料薄膜(单 晶Si、多晶Si)。如果将芯片按照系统级-模块级-寄存器传输-逻辑门-晶体管这样 自上而下的视角拆解,将得到成千上万个晶体管以及连接它们的导线。相应的,晶 圆加工工序可大致拆解为基板工序FEOL(负责在基板上制造出晶体管等部件形成 MOS结构、介质膜、接触孔等结构)和布线工序BEOL(将FEOL制造各部件与金 属材料连接布线形成电路)。而构成这些微观结构的主要“骨架”,起到产生导电 层或绝缘层、阻挡污染物和杂质渗透、提高吸光率、临时阻挡刻蚀等重要作用的, 正是上述各种材质的薄膜。只有通过重复进行薄膜沉积-光刻-刻蚀等步骤,才能在 FEOL和BEOL工序中实现微观结构的堆叠组合。
市场空间:半导体行业整体景气度提升,拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加。 根据拓荆科技招股书引用的Maximize Market Research,2020年全球半导体薄膜 沉积设备市场规模达172亿美元,年复合增长率11.2%,薄膜沉积设备(包含CVD 及其他沉积设备)在晶圆产线各类设备中的价值占比将稳定在20%以上。未来,集 成电路制造业产能扩张、产品升级和技术节点突破将带来半导体薄膜沉积设备市场 规模的高速增长。根据Maximize Market Research预测,2025年全球半导体薄膜 沉积设备市场规模将扩大至340亿美元,年复合增速13%以上。展望未来,下游晶圆厂扩产增效、逻辑芯片代工厂先进产线占比提升以及FLASH 存储芯片3D NAND技术普及将进一步推动薄膜沉积设备的行业空间扩容。先进制 程对薄膜工艺和材料的精密化、多样化要求将催生更多行业增长点,为国产替代提 供契机。
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